氣浮導(dǎo)軌（Air Bearing Guide），也被稱為空氣軸承導(dǎo)軌，是一種利用壓縮空氣在導(dǎo)軌與移動部件之間形成一層薄空氣膜，從而實(shí)現(xiàn)無接觸支撐和導(dǎo)向的技術(shù)。這種技術(shù)能夠顯著減少運(yùn)動部件之間的摩擦力，提供很高的定位精度和平滑的運(yùn)動特性，廣泛應(yīng)用于高精度機(jī)床、光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備等領(lǐng)域。
工作原理
氣浮導(dǎo)軌通過向?qū)к壉砻婊蚧瑝K內(nèi)的小孔、槽注入經(jīng)過過濾的壓縮空氣，在導(dǎo)軌與移動部件之間形成一層穩(wěn)定的空氣膜。這層空氣膜起到了緩沖作用，使移動部件懸浮于導(dǎo)軌之上，幾乎消除了兩者之間的直接接觸，因此極大地降低了摩擦系數(shù)和磨損率，同時也減少了由于摩擦產(chǎn)生的熱量和振動。
主要特點(diǎn)
高精度：由于幾乎沒有機(jī)械接觸，氣浮導(dǎo)軌可以達(dá)到亞微米級別的定位精度。
低摩擦：依靠空氣膜進(jìn)行支撐，摩擦力極低，有利于實(shí)現(xiàn)精密控制和高效能操作。
長壽命：缺乏物理接觸意味著幾乎沒有磨損，從而延長了系統(tǒng)的使用壽命。
平穩(wěn)性好：減少了傳統(tǒng)導(dǎo)軌系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的爬行現(xiàn)象，提供了更加平滑的運(yùn)動性能。
自清潔功能：流動的空氣有助于清除微小顆粒，保持工作環(huán)境的清潔度。
應(yīng)用領(lǐng)域
精密加工：如超精密車床、磨床等，用于提高工件加工的尺寸精度和表面質(zhì)量。
光學(xué)檢測：適用于需要高穩(wěn)定性平臺的光學(xué)測量儀器，比如三坐標(biāo)測量機(jī)（CMM）。
半導(dǎo)體制造：在晶圓制造過程中，對于需要很高精度的操作，如光刻機(jī)中的晶圓定位系統(tǒng)。
科研實(shí)驗(yàn)：支持各種要求苛刻的科學(xué)實(shí)驗(yàn)，特別是在物理學(xué)、天文學(xué)等領(lǐng)域中對穩(wěn)定性和精確度有嚴(yán)格要求的場合。
使用氣浮導(dǎo)軌時，需注意供氣系統(tǒng)的清潔度和穩(wěn)定性，確保進(jìn)入導(dǎo)軌的壓縮空氣質(zhì)量良好，并且壓力恒定，以保證最佳的工作狀態(tài)。此外，雖然氣浮導(dǎo)軌具有許多優(yōu)點(diǎn)，但其成本相對較高，維護(hù)也需要一定的專業(yè)知識。
